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Lehrstuhl für Physikalische Chemie

Sputter- und Bedampfungsgeräte

Ansprechperson(en): Karin Stanglauer

  • Hochvakuum-Kleinbeschichtungsanlagen
  • Carbon Coater

Der Sputtereffekt wird in der Materialbearbeitung und Analytik für die Reinigung von Werkstoffen und Proben eingesetzt.